Edwards爱德华真空泵iXH1210H、IH160、 IQDP40、 QDP40半导体真空泵单晶拉晶、LL、Etching、CVD、ALD、封装、测试案例介绍

深圳市托理拆利机电设备有限公司是英国Edwards爱德华真空泵授权代理商，为客户24小时提供技术支持及售后服务，针对各个行业工艺端设计提供适合的负压真空系统解决方案，为半导体真空设备、光伏真空设备、锂电池真空设备、实验室高真空设备、工厂高真空设备、学校高真空设备提供优化的真空解决方案。技术服务：138-2378-8380

 

半导体真空泵爱德华iXH1210H干泵案例介绍

 

半导体真空泵是半导体各制程中必备的通用设备，应用于单晶拉晶、LL、Etching、CVD、ALD、封装、测试等清洁或严苛制程。

 

2022年3月，深圳市托理拆利机电设备有限公司根据广东某半导体用户提供的工艺情况及配置技术要求，选用了Edwards爱德华半导体真空泵IXH1210H干泵。主要表现在严苛制程能力，它在世界上的许多300mm半导体和平板工厂内通过提高制程可靠性实现低拥有成本。具有高峰值抽取速度，占地面积小，高度低，安装很方便。

 

 

 

Edwards爱德华真空泵IXH系列，IH系列，IQDP系列，QDP系列半导体真空泵介绍

 

（半导体真空泵）Edwards爱德华真空泵IXH系列型号包括：IXH100、IXH200、IXH200H，IXH500H，IXH500Q，IXH610、IXH645H，IXH1210，IXH1210H，IXH1220H。

 

（半导体真空泵）Edwards爱德华真空泵IH系列型号包括：IH80、IH160、IH600、IH1000、IH1800

 

（半导体真空泵）Edwards爱德华真空泵IQDP系列型号包括： IQDP40、IQDP80

 

（半导体真空泵）Edwards爱德华真空泵QDP系列型号包括： QDP40、QDP80

 

下面介绍一下Edwards爱德华真空泵半导体干式真空泵IH80、IH160、IH600、IH1000、IH1800

 

Edwards半导体真空泵已经过现场应用证明，可以按照高工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率，同时大程度地减小占地面积、降低运行成本，实现了高的性和性能。 iH系列（如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高性。

 

Edwards半导体干式真空泵IH80、IH160、IH600、IH1000、IH1800功能与优势

 

优化了设施消耗。

 

无需预防性维护。

 

悬臂轴和的异型转子便于颗粒的处理。

 

在节省电机功率的同时大程度提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定性。

 

耐腐蚀的制造材料允许泵送腐蚀性气体。

 

较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的。

 

整体式轴杆无需使用电机联结器，而第五级泵消除了使用消音器的需要并消除了颗粒堆积，从而降低了总体占地面积。

 

如果您不确定哪种泵适用于您的预期工艺，我们很乐意帮助您选择适合您的特定需求的真空解决方案。

 

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