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光伏真空泵:拉晶工艺、电池镀膜、组件层压英国爱德华(Edwards)真空泵SL800爪式真空泵、GXS、iXH系列与罗茨真空泵应用介绍

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深圳市托理拆利机电设备有限公司是英国Edwards爱德华真空泵授权代理商,为客户24小时提供技术支持及售后服务,针对各个行业工艺端设计提供适合的负压真空系统解决方案,为光伏真空设备、科研真空设备、实验室真空设备、科学仪器真空设备、半导体真空设备、锂电池真空设备、工厂高真空设备、学校高真空设备提供优化的真空解决方案。技术服务:138-2378-8380

 

光伏真空泵:拉晶工艺、电池镀膜、组件层压英国爱德华(Edwards)真空泵SL800爪式真空泵、GXS、iXH系列与罗茨真空泵应用介绍

 

需求背景:光伏行业真空泵;用于拉晶工艺、电池镀膜、组件层压等。

 

随着光伏行业的发展,真空泵为光伏设备关键部件,设备中的真空稳定性是工艺稳定的关键技术之一;光伏用真空泵主要为干式真空泵、螺杆真空泵、爪式真空泵与罗茨真空泵;真空泵主要应用于硅片拉晶,电池片高方阻扩散(低压扩散炉)和PVD、PECVD镀膜工艺,组件层压环节等。光伏电池主要分为:硅料制程、硅片制程、电池片制程和组件制程。

 

 

根据某光伏行业实际项目需求,深圳市托理拆利机电设备有限公司推荐选用了Edwards爱德华SL800爪式真空泵、GXS系列、iXH系列真空泵,用于光伏拉晶环节与电池片环节。

 

Edwards SL800爪式真空泵该真空泵适用于超严苛制程工艺,主要表现在内部结构沿用了 iXH 系列干泵类似设计如爪式干泵、大扭力电机、氮气吹扫、 多种通讯方式支持等特性,有效处理工艺带来的残留气体和副产物对泵的影响,确保泵的长时间稳定工作,SL800(X) 型号作为 800m3/hour 级别抽速的高温泵类型,针对于 PECVD Nitride (SiH4+NH3)镀膜工艺,也可应用于 LPCVD、ICP Etch 等工艺上; SL800X 相对于 SL800 增加了内部加热带,可进一步提高泵内部温度,适合 Metal/PSS etch 等工艺,可有效防止副产物冷凝。

 

以上文字与图片未经同意不得修改,转载请标明出处。(深圳市托理拆利机电设备有限公司)