Edwards半导体干式真空泵（爱德华）GX100L GX100N GX300L GX600L GX600N GX1000N应用参数及介绍

深圳市托理拆利机电设备有限公司提供真空领域技术及产品服务的高新技术企业，拥有合工大真空系专业背景组成的技术团队，具备国际化视野和多年真空应用实战经验，在真空泵选型及真空系统设计方面有丰富的积累与创新。TORRY专注于真空检漏、真空系统领域的技术型专业供应商，是Edwards爱德华真空泵授权代理商，为科研真空设备、科学仪器真空设备、实验室高真空设备、半导体真空设备、光伏真空设备、锂电池真空设备、工厂高真空设备、学校高真空设备提供优化的真空解决方案。技术服务：138-2378-8380

 

Edwards半导体干式真空泵（爱德华）GX100L GX100N GX300L GX600L GX600N GX1000N应用参数及介绍

 

Edwards爱德华GX系列半导体干式真空泵产品型号：GX100L，GX100N,GX300L，GX600L，GX600N,GX1000N

 

简单介绍：

 

GX1000N 爱德华半导体干式真空泵为大修之间零维护树立了新标准。 效率提高的同时降低了运行成本，并在整个压力范围内保持连续的泵送能力。 GX1000N 爱德华半导体干式真空泵的峰值速度范围很宽，并可以改变以适合应用条件，包括从清洁到中等负载制程。模块化设计允许用户对 GX 干泵进行配置以适合各个工厂的要求。 紧凑的占地面积允许使用包括工具上、近程和远程在内的多种安装选项。

 

详情介绍：

 

製品概要

 

GX 干式真空泵系列为大修之间零维护树立了新标准。 效率提高的同时降低了运行成本，并在整个压力范围内保持连续的泵送能力。

 

GX 泵的峰值速度范围很宽，并可以改变以适合应用条件，包括从清洁到中等负载制程。 模块化设计允许用户对GX干泵进行配置以适合各个工厂的要求。 紧凑的占地面积允许使用包括工具上、近程和远程在内的多种安装选项。

 

应用

 

负载锁

 

输送

 

计量

 

平版印刷

 

PVD 制程

 

PVD 预清洁

 

RTA

 

剥离/灰化

 

氧化物腐蚀

 

金属腐蚀

 

植入源

 

功能和优势

 

低运行成本

 

与 iL/iH 干泵相比，设施成本多可降低 50%

 

无需预防性维护

 

灵活的安装选项

 

小巧轻便，便于安装

 

工具上、近程或远程

 

可以改进工具吞吐量

 

可用的快的负载锁定泵之一

 

全程的泵送性能

 

在 50 和 60 Hz 下抽速相同

 

降低了环境噪音

 

仅 55 dB(A)

 

峰值速度范围宽

 

100、300、600 和 800 m3h-1

 

参数

 

需要恒流阀附件

 

GX1000N 爱德华半导体干式真空泵订购信息：

 

GX100L 200 - 230V 50/60Hz A54710958

 

 

GX100L 380 - 460V 50/60Hz A54710959

 

GX100N 200 - 230V 50/60Hz A54711958

 

GX100N 380 - 460V 50/60Hz A54711959

 

GX600L 200 - 230V 50/60Hz A54730958

 

GX600L 380 - 460V 50/60Hz A54730959

 

GX600N 200 - 230V 50/60Hz A54731958

 

GX600N 380 - 460V 50/60Hz A54731959

 

GX1000N 200 - 230V 50/60Hz A54781958

 

GX1000N 380 - 460V 50/60Hz A54781959

 

GX100TI 200 - 230V 50/60Hz A54746958

 

以上文字与图片未经同意不得修改，转载请标明出处。（深圳市托理拆利机电设备有限公司）