埃地沃兹（Edwards）爱德华真空泵在SiC碳化硅汽车半导体应用

深圳市托理拆利机电设备有限公司是Edwards爱德华真空泵授权代理商,为客户24小时提供技术支持及售后维保服务，包括小型干泵、工业用干泵、化学品干式泵、半导体干泵、涡轮分子泵、超高真空泵、扩散泵、油封泵、机械增压泵、液环泵、低温泵、泄漏检测、残余气体分析仪、真空组件等。针对各个行业工艺端设计提供适合的真空系统解决方案。技术服务：138-2378-8380

埃地沃兹（Edwards）爱德华真空泵在SiC碳化硅汽车半导体应用

需求背景：SiC碳化硅汽车半导体

作为新能源汽车及其他工业领域重要的基础性产品，功率半导体具有安全、环保、高效、低耗等优势。半导体行业中的蒸发，溅射，PECVD，真空干法刻蚀，真空吸附，测试设备，机械手，自动化真空清扫等键合工序里所需用真空为生产真空（中高真空）；清扫真空（粗真空）；工艺真空（粗真空）。

埃地沃兹（Edwards）爱德华真空泵在汽车半导体应用，从IGBT，SiC碳化硅，到汽车组件配套项目，严苛的工艺能力、可靠性和更低的拥有成本；高效、低功耗、适应超繁重工作的真空泵，确保365天连续无休运行。

半导体行业的工艺特性，要求系统绝对无油，对设备的稳定性和可靠性要求也比较高。部分还有要求真空泵向被抽空间内的返流为零，以保护工件免受污染。工艺真空主要利用负压吸附进行工件搬运或夹持，清扫真空主要利用负压与大气压差进行液体或颗粒的清除或输送，埃地沃兹（Edwards）爱德华真空泵，安全可靠，100%无油，完全满足半导体行业的工艺真空要求。

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