Edwards爱德华真空泵GV80(广东 深圳 东莞 惠州 广州 佛山 珠海)
深圳市托理拆利机电设备有限公司是英国Edwards爱德华真空泵授权代理商,为客户24小时提供技术支持及售后服务,针对各个行业工艺端设计提供适合的负压真空系统解决方案,为光伏真空设备、科研真空设备、实验室真空设备、科学仪器真空设备、半导体真空设备、锂电池真空设备、工厂高真空设备、学校高真空设备提供优化的真空解决方案。技术服务:138-2378-8380
Edwards爱德华真空泵GV80是一款爪式干式真空泵
性能参数
抽气速率:22.22l/s,流量为80m³/h。
极限压力:3×10⁻²mbar。
电压与功率:电压380V,功率2.2kW。
外形尺寸与重量:外形尺寸为830390500mm,重量176kg。
排出口径:KF50mm。
应用领域
半导体行业:用于半导体制造过程中的真空镀膜、蚀刻、离子注入等工艺,可提供清洁、稳定的真空环境,确保半导体器件的质量和性能。
光学领域:在光学镀膜、光学镜片制造等方面,能为镀膜设备提供高真空度,保证薄膜的均匀性和质量。
化工行业:适用于化工生产中的蒸馏、干燥、结晶等工艺,可有效抽取反应过程中产生的气体,维持反应所需的真空条件。
能源行业:例如锂电池生产过程中,用于极片/极卷/电芯的真空烘烤干燥、电解液真空充注等环节。
其他领域:还可应用于冶金、制药、电气、科研等行业,如冶金中的真空熔炼、制药中的真空干燥、电气设备的真空浸渍等。
产品特点
结构设计:泵轴为边立式,设计紧凑,包含嵌入式止回阀和高效油分离系统,在同等排气量产品中体积小、重量轻,便于各类机器配套。
运行维护:风冷型无需冷却水系统,拥有可靠的油分离及油循环系统,可长期连续工作,安装维护操作简单,运行成本低廉。
环保安全:安全环保,噪音低,排气洁净,具备抽除少量水蒸汽的能力,使用干泵技术及独特密封设计,可消除真空制程中的污染。
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