广东深圳真空泵（水环罗茨机组、旋片罗茨、往复式罗茨、螺杆罗茨、分子泵、扩散泵真空机组）

深圳市托理拆利机电设备有限公司为客户提供定制化真空解决方案，在充分考虑真空技术要求的基础上以最低的成本满足所需的性能。设计系统时，我们会兼顾运行成本和环保要求。涵盖各应用领域如：医疗、医药、工业应用、电子、食品、工业应用、PET挤出机脱气、电池烤箱、吸塑机械、包装机械、实验室、半导体、线路板、光伏太阳能、发泡胶、平板显示等。技术服务：138-2378-8380

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水环罗茨真空机组

组成及原理：由罗茨真空泵和水环真空泵组成。罗茨真空泵在较高真空度下有较大抽气速率，水环真空泵作为前级泵，为罗茨泵提供初始真空环境。工作时，罗茨泵先将气体从被抽容器中抽出，然后排到水环泵中，水环泵再将气体排出到大气中。

特点：对被抽气体中的灰尘和水汽不敏感，能在较恶劣环境下工作；结构相对简单，维护成本低；可获得较高真空度，抽气速率较大。

应用：广泛应用于化工、制药、食品等行业，如真空蒸馏、真空干燥、真空浓缩等工艺过程。

旋片罗茨真空机组

组成及原理：由罗茨真空泵和旋片真空泵组成。旋片真空泵作为前级泵，通过旋片在泵腔内的旋转运动，实现吸气和排气过程，为罗茨泵创造初始真空条件。罗茨泵则在旋片泵达到一定真空度后开始工作，进一步提高真空度和抽气速率。

特点：真空度高，能达到10⁻⁴Pa甚至更高；抽气速率快，可快速将容器内气体抽出；对清洁气体的抽除效果好，但对含尘、含水汽气体的适应性较差。

应用：常用于电子、半导体、真空镀膜等对真空度要求较高的领域，如芯片制造中的光刻工艺、真空镀膜设备中的镀膜过程等。

往复式罗茨真空机组

由罗茨真空泵和往复式真空泵组成。往复式真空泵作为前级泵，通过活塞在气缸内的往复运动实现吸气和排气，为罗茨泵提供初始真空。该机组适用于抽除无腐蚀性、无颗粒的气体，在一些对真空度要求不是极高，但需要较大抽气速率的场合有应用，如某些工业生产中的真空输送、真空过滤等环节。

螺杆罗茨真空机组

以罗茨真空泵为主泵，螺杆真空泵为前级泵。螺杆真空泵利用螺杆转子的旋转来压缩和输送气体，具有抽气效率高、对气体中的杂质不敏感、运行稳定等优点。螺杆罗茨真空机组可用于化工、制药、电子等行业，能适应不同性质的气体抽除，尤其在对真空系统的清洁度和稳定性要求较高的工艺中表现出色。

扩散泵真空机组

通常由机械泵作为前级泵，扩散泵作为主泵。扩散泵利用高速油蒸气喷射将气体分子携带至泵出口，可获得高真空度。这种机组广泛应用于需要高真空环境的领域，如真空镀膜、半导体制造中的光刻、电子束蒸发等工艺。

分子泵真空机组

一般由前级机械泵和分子泵组成。分子泵通过高速旋转叶片撞击气体分子，将其推向出口，能达到超高真空度。常用于对真空度要求极高的科研领域，如表面科学研究、质谱分析、空间模拟等，以及一些高端电子制造工艺，如半导体芯片的精密加工。

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