Edwards爱德华真空泵iXH610半导体干式真空泵（广东 深圳 东莞 ）

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Edwards爱德华真空泵iXH610半导体干式真空泵（广东 深圳 东莞 惠州 广州 佛山 珠海）

爱德华真空泵iXH610是一款半导体干式真空泵

主要特点

高抽气速率：能满足半导体、FPD、太阳能、LED 制造业等领域不断提高的气体流量要求，高峰值抽取速度可提升生产效率。

可靠性高：在众多300mm半导体和平板工厂中，通过提高制程可靠性实现低拥有成本，经现场应用证明，可按高工作标准运行，延长使用寿命、增加运行时间。

模块化设计：符合当下制程要求，部件可上下堆叠，占地面积小，便于在工厂安装布局，且对于前沿工厂的新应用挑战有应对方案。

易于维护：相比复杂真空泵系统，维护相对容易，但仍需专业人员定期保养维护，以保证性能和可靠性。

符合标准：满足UL、CE和S2等主要标准，可适应不同地区和行业的安全质量要求。

应用领域

半导体制造：在PECVD、高K、低K、SACVD、LPCVD、ALD、EPI等半导体制程中应用广泛。

平板显示器制造：可用于FPD的PECVD、TCO、刻蚀、传输腔等工艺。

技术参数

峰值抽速：665m³/h（391CFM）。

极限压力：3.7x10⁻³Torr。

适用电压：380V。

注水接口：3/8英寸快速连接注水。

气体模块：多模式44slm气体模块。

结构设计

紧凑轻量化：采用紧凑的结构和轻量化设计，在Edwards系列中应用广泛。

低噪音振动：运行时产生的噪音和振动极低，可提供较为安静的工作环境

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