广东分子泵真空机组-爱德华分子泵真空机组-深圳 东莞 惠州 广州 佛山 珠海

深圳市托理拆利机电设备有限公司为客户提供定制化真空解决方案，在充分考虑真空技术要求的基础上以最低的成本满足所需的性能。设计系统时，我们会兼顾运行成本和环保要求。涵盖各应用领域如：医疗、医药、工业应用、电子、食品、工业应用、PET挤出机脱气、电池烤箱、吸塑机械、包装机械、实验室、半导体、线路板、光伏太阳能、发泡胶、平板显示等。技术服务：138-2378-8380

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分子泵真空机组是由分子泵及其配套设备组成的用于获得高真空或超高真空环境的设备

应用领域

科研领域：如物理、化学、材料科学等实验，像电子显微镜、真空镀膜设备、加速器等仪器中，为实验提供高真空环境。

半导体工业：用于半导体器件的制造过程，如光刻、蚀刻、离子注入等工艺，确保芯片制造环境的高真空和高纯度。

医疗领域：如医疗设备中的真空包装、真空灭菌，以及某些医疗诊断仪器如核磁共振成像设备等，提供稳定的真空环境。

工作原理

牵引分子泵：依靠气体分子与高速运动的转子相撞获得动量，被驱赶到泵的出口。

涡轮分子泵：通过高速旋转的动叶片和静止的定叶片相互作用，在分子流状态下实现抽气。

复合分子泵：结合了涡轮式和牵引式分子泵的优势，具有更宽的适用范围和更高效率。

结构组成

分子泵：核心部件，常用的有涡轮分子泵和复合分子泵等，用于实现高真空抽取。

前级泵：一般采用旋片泵、涡旋泵或隔膜泵等，为分子泵提供前置真空环境，以保证分子泵正常工作。

真空测量装置：如真空计，用于实时监测真空系统的压力，以便操作人员了解真空度情况。

控制系统：实现对分子泵真空机组的启动、停止、转速调节等控制功能，还可具备故障诊断和保护功能。

特点

高真空度：能达到极高的真空度，满足如半导体制造、真空镀膜等对环境要求严苛的领域。

清洁无油：工作过程中无需使用油类介质，避免了油蒸汽对真空环境的污染，适用于对清洁度要求高的场合。

抽气速度快：可在较短时间内将真空腔室抽至所需的真空度，提高工作效率。

运行稳定：采用高精度轴承和先进的制造工艺，振动小、噪音低，可长时间稳定运行。

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