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GXS450/2600爱德华真空泵-干式螺杆真空泵-广东Edwards真空泵授权代理商

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深圳市托理拆利机电设备有限公司是英国Edwards爱德华真空泵授权代理商,为客户24小时提供技术支持及售后服务,针对各个行业工艺端设计提供适合的负压真空系统解决方案,为光伏真空设备、科研真空设备、实验室真空设备、科学仪器真空设备、半导体真空设备、锂电池真空设备、工厂高真空设备、学校高真空设备提供优化的真空解决方案。技术服务:138-2378-8380

 

GXS450/2600爱德华真空泵-干式螺杆真空泵-广东Edwards真空泵授权代理商

 

Edwards真空泵 GXS450/2600 工业干泵 干式螺杆真空泵

 

应用领域

 

半导体行业:用于芯片制造过程中的光刻、刻蚀、薄膜沉积等工艺,提供超高真空环境,确保芯片制造的精度和质量。

 

真空镀膜领域:在光学镜片、电子元件、装饰材料等的镀膜过程中,可使镀膜材料均匀地沉积在物体表面,提高镀膜质量。

 

真空冶金行业:适用于金属材料的真空熔炼、真空退火、真空钎焊等工艺,有效去除金属中的杂质和气体,提高金属材料的纯度和性能。

 

科研实验方面:在材料物理、凝聚态物理等研究中,用于制备高纯度材料样品、模拟宇宙真空环境等,为科研实验提供稳定的真空条件。

 

 

 

工作原理

 

依靠一对相互啮合的螺杆转子,在泵壳内旋转,随着转子的转动,气体从进气口被吸入,在螺槽内被逐步压缩,然后从排气口排出,从而实现抽气和维持真空的目的。

 

性能特点

 

高效抽气:采用先进的螺杆技术和高效驱动系统,抽气速度快,可快速将真空系统抽到所需真空度。

 

真空度高:能达到较高的极限真空度,通常可达到10⁻⁴mbar数量级,满足对真空度要求较高的工艺需求。

 

稳定性强:配备智能控制系统,可自动监测和调节泵组的运行参数,确保在不同工况下都能稳定运行。

 

节能环保:高效变频驱动电机,根据实际负载自动调整功率,降低能耗,且运行过程中无油蒸汽排放,对环境友好。

 

维护简便:油润滑的齿轮箱和长寿命的轴承,减少了维护工作量和维护成本,维护间隔时间长。

 

注意事项

 

安装环境:应安装在干燥、通风良好的场所,避免安装在潮湿、灰尘多或有腐蚀性气体的环境中。

 

气体处理:对于含有大量粉尘或腐蚀性气体的工艺气体,需在泵组进气口前安装合适的过滤器或气体处理装置。

 

运行监测:定期检查泵组的运行参数,如真空度、温度、压力等,确保其在正常范围内运行。

 

以上文字与图片未经同意不得修改,转载请标明出处。(深圳市托理拆利机电设备有限公司)