iH1000半导体干式真空泵

深圳市托理拆利机电设备有限公司是英国Edwards爱德华真空泵授权代理商，为客户24小时提供技术支持及售后服务，针对各个行业工艺端设计提供适合的负压真空系统解决方案，为PCB板蚀刻、半导体真空设备、光伏真空设备、锂电池真空设备、实验室高真空设备、工厂高真空设备、学校高真空设备提供优化的真空解决方案。技术服务：138-2378-8380

简单介绍：

Edwards半导体真空泵已经过现场应用证明，可以按照高工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率，同时大程度地减小占地面积、降低运行成本，实现了高的性和性能。 

iH系列为难以执行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的PECVD和 LPCVD 制程）提供了高性。

应用

负载锁
输送
计量
平版印刷
PVD 制程
PVD 预清洁
RTA
剥离/灰化
刻蚀
植入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD

有关任何特定应用条件下 iH系统稳定性的建议，请与我们联系。

功能和优势

优化了设施消耗。

无需预防性维护。

悬臂轴和的异型转子便于颗粒的处理。

在节省电机功率的同时大程度提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定性。

耐腐蚀的制造材料允许泵送腐蚀性气体。

较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的。

整体式轴杆无需使用电机联结器，而第五级泵消除了使用消音器的需要并消除了颗粒堆积，从而降低了总体占地面积。

数据
峰值速度       1000 m3h-1

                    589 cfm

                    16670 l min-1

极限真空      1 x 10-3 mbar

                   7.5 x 10-4 Torr

                   0.1 Pa 典型轴封氮流量 4 slm

进气口连接  ISO160

连接            NW40

15 psi 压降下典型冷却水流量 240 l h-1

                  4 l min-1

重量           430 kg

极限功率输入 3.8 kW

电机额定功率 6.1 kW

油容量 1.48 l

数字均为无气镇时的典型值。

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