爱德华EPX500LE半导体干式真空泵

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详细介绍

新的紧凑型 EPX500 高真空干泵的特性是：工作性能，运行成本更低。EPX500 使用了的保护机械装置，能够从大气压抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的极限压力 模块化 EPX500 基于备受赞誉、大获成功的 IPX 系列，可提供的性能，与 IPX 相比，包装重量轻了 20%、体积小了 30% 且功率降低了 40%。

EPX LE 系列的泵具有一个终用户控制器 (EUC)。通过终用户控制器可以实现独立使用的本地控制，并能够连接到结构的网络，以进行远程控制和监视。

应用

EPX 系列涵盖的应用，从水处理到中度工作负载的制程。

EPX“LE”系列的设计旨在用于清洁工作应用泵送惰性气体混合物（如负荷锁定），通过制程机台接口提供控制。

功能和优势

紧凑的占地面积 – 作为可用的工具上泵之一，EPX 节省了占地面积。EPX 可以直接安装到工具上，从而节省了前级管道和安装成本，如果需要也可远程安装。

低运行成本 - EPX 仅需要 1.4 kW 的功率和整合空闲模式，从而可大化功率效率。

的保护机械装置 – EPX 可以从大气压抽空到涡轮分子基准压力，并可以在进气口压力下连续工作。

清洁机械装置 – 传统的高真空轴承底油脂使用油脂润滑，这可能成为制程工具中污染源。EPX 泵没有高真空轴承底油脂，并且不存在任何其他的潜在污染源。

– EPX 基于经过现场验证的 IPX ，具有 13 年的 MTBFp (SEMI E10)，大约每 5 年维修一次，大程度地延长了泵的使用寿命。

可兼容的网络 - EPX 系列配有终用户控制，可以连接到结构的网络，以进行诊断监视和控制。

数据

峰值速度 500 m3h-1

295 ft3min-1

8338 lmin-1

极限真空 <1 x 10-6 mbar

<7 x 10-7 Torr

<1 x 10-4 Pa 预热时间（达到标称性能） 30 分钟

入口法兰 ISO160

法兰 NW25

噪音 <59 dB(A)

冷却水流速 2 lmin-1

冷却水温度 15 – 35°C

氮气供给接口 1/4 in (6.5 mm) 管

氮气供给压力 3 x 105 – 7 x 105 Pa 低氮纯度 99.95%

电源供给 200/208 V，50/60 Hz，3 相

极限功率 1.4 kW

电机额定功率 3.0 kW

TIM 无

重量 45.2 kg

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