爱德华EPX180NE半导体干式真空泵

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简单介绍：

新的紧凑型 EPX180 高真空干泵的特性是：工作性能，运行成本更低。 EPX180 使用了的保护机械装置，能够从大气压抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的极限压力。 EPX NE 系列的泵具有一个终用户控制器 户控制器可以实现独立使用的本地控制，并能够连接到结构的网络，以进行远程控制和监视。

应用

负载锁

传输腔

PVD 溅射

灰化/PR 剥离

电介质刻蚀

EPX 系列涵盖的应用，从水处理到中度工作负载的制程。

EPX“N”系列包括一个可提供氮清洗的气体模块，从而可将应用范围扩大为中等制程，在这类制程
中预期存在的腐蚀性蒸汽和微粒的程度较低。

功能和优势

紧凑的占地面积 – 作为可用的工具上泵之一，EPX 节省了占地面积。EPX 可以直接安装到工具上，
从而节省了前级管道和安装成本，如果需要也可远程安装。

低运行成本 - EPX 仅需要 1.4 kW 的功率和整合空闲模式，从而可大化功率效率。

的保护机械装置 – EPX 可以从大气压抽空到涡轮分子基准压力，并可以在进气口压力下连续工
作。

清洁机械装置 – 传统的高真空轴承底油脂使用油脂润滑，这可能成为制程工具中污染源。EPX 泵
没有高真空轴承底油脂，并且不存在任何其他的潜在污染源。

– EPX 基于经过现场验证的 IPX ，具有 13 年的 MTBFp (SEMI E10)，大约每 5 年维修一次，大程度地
延长了泵的使用寿命。

可兼容的网络 - EPX 系列配有终用户控制，可以连接到结构的网络，以进行诊断监视和控制。

数据

峰值速度 170 m3h-1

105 ft3min-1

2835 lmin-1

极限真空

<1 x 10-4 mbar

<7.5 x 10-5 Torr

<1 x 10-2 Pa 预热时间（达到标称性能） 30 分钟

入口法兰 ISO63

法兰 NW25

噪音 <59 dB(A)

冷却水流速 2 lmin-1

冷却水温度 15 – 35°C

氮气供给接口 1/4 in (6.5 mm) 管

氮气供给压力 3 x 105 – 7 x 105 Pa 低氮纯度 99.95%

电源供给 400 V，50/60 Hz，3 相

极限功率 1.4 kW

电机额定功率 3.0 kW

TIM 无

重量 43.5 kg

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