iH1800HTX Edwards半导体干式真空泵

深圳市托理拆利机电设备有限公司是英国Edwards爱德华真空泵授权代理商，为客户24小时提供技术支持及售后服务，针对各个行业工艺端设计提供适合的负压真空系统解决方案，锂电池真空设备、光伏真空设备、为科研真空设备、实验室真空设备、科学仪器真空设备、半导体真空设备、工厂高真空设备、学校高真空设备提供优化的真空解决方案。技术服务：138-2378-8380

简单介绍：

iH1800HTX Edwards半导体干式真空泵为难以执行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD制程）提供了高性。 iH1800HTX Edwards半导体干式真空泵在节省电机功率的同时大程度提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定性。

详情介绍：

iH1800HTX Edwards半导体干式真空泵概述

Edwards 半导体真空泵已经过现场应用证明，可以按照高工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率，同时大程度地减小占地面积、降低运行成本，实现了高的性和性能。

iH 系列为难以执行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高性。

iH1800HTX 专为需要较高的工作温度以避免制程气体冷凝的工艺（如 300 mm LPCVD 氮化物）而设计。

iH1800HTX Edwards半导体干式真空泵应用

负载锁

输送

计量

平版印刷

PVD 制程

PVD 预清洁

RTA

剥离/灰化

刻蚀

植入源

HDP CVD

RTP

SACVD

MCVD

PECVD

LPCVD

ALD

有关任何特定应用条件下 iH 系统稳定性的建议，请与 Edwards 联系。

iH1800HTX Edwards半导体干式真空泵功能和优势

优化了设施消耗。

无需预防性维护。

悬臂轴和的异型转子便于颗粒的处理。

在节省电机功率的同时大程度提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定性。

耐腐蚀的制造材料允许泵送腐蚀性气体。

较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的。

整体式轴杆无需使用电机联结器，而第五级泵消除了使用消音器的需要并消除了颗粒堆积，从而降低了总体占地面积。

iH1800HTX Edwards半导体干式真空泵订购信息

iH1800HTX 干式泵 460V，60 Hz，3 相 A59042908

iH1800HTX 干式泵 200/208V，50/60 Hz，3 相 A59042945

iH1800HTX 干式泵 380/415V，50 Hz，3 相 A59042946

iH1800HTX 干式泵 230V，60 Hz，3 相 A59042957

iH1800HTX 干式泵 200/208V，50/60 Hz，3 相 A59062945

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