GX600L 爱德华Edwards半导体干式真空泵

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GX600L 爱德华Edwards半导体干式真空泵

Edwards爱德华GX系列半导体干式真空泵产品型号：GX100L，GX100N,GX300L，GX600L，GX600N,GX1000N

简单介绍：

GX600L 爱德华半导体干式真空泵为大修之间零维护树立了新标准。 效率提高的同时降低了运行成本，并在整个压力范围内保持连续的泵送能力。 GX600L 爱德华半导体干式真空泵的峰值速度范围很宽，并可以改变以适合应用条件，包括从清洁到中等负载制程。模块化设计允许用户对 GX 干泵进行配置以适合各个工厂的要求。 紧凑的占地面积允许使用包括工具上、近程和远程在内的多种安装选项。
 

详情介绍：

製品概要

GX 干式真空泵系列为大修之间零维护树立了新标准。 效率提高的同时降低了运行成本，并在整个压力范围内保持连续的泵送能力。

GX 泵的峰值速度范围很宽，并可以改变以适合应用条件，包括从清洁到中等负载制程。 模块化设计允许用户对GX干泵进行配置以适合各个工厂的要求。 紧凑的占地面积允许使用包括工具上、近程和远程在内的多种安装选项。

应用

负载锁

输送

计量

平版印刷

PVD 制程

PVD 预清洁

RTA

剥离/灰化

氧化物腐蚀

金属腐蚀

植入源

功能和优势

低运行成本

与 iL/iH 干泵相比，设施成本多可降低 50%

无需预防性维护

灵活的安装选项

小巧轻便，便于安装

工具上、近程或远程

可以改进工具吞吐量

可用的快的负载锁定泵之一

全程的泵送性能

在 50 和 60 Hz 下抽速相同

降低了环境噪音

仅 55 dB(A)

峰值速度范围宽

100、300、600 和 800 m3h-1

参数

需要恒流阀附件

GX600L 爱德华半导体干式真空泵订购信息：

GX100L 200 - 230V 50/60Hz A54710958

GX100L 380 - 460V 50/60Hz A54710959

GX100N 200 - 230V 50/60Hz A54711958

GX100N 380 - 460V 50/60Hz A54711959

GX600L 200 - 230V 50/60Hz A54730958

GX600L 380 - 460V 50/60Hz A54730959

GX600N 200 - 230V 50/60Hz A54731958

GX600N 380 - 460V 50/60Hz A54731959

GX1000N 200 - 230V 50/60Hz A54781958

GX1000N 380 - 460V 50/60Hz A54781959

GX100TI 200 - 230V 50/60Hz A54746958

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