英国爱德华（Edwards）EXS750/4200干式螺杆真空泵-埃地沃兹授权代理商

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英国爱德华（Edwards）EXS750/4200干式螺杆真空泵-埃地沃兹授权代理

英国爱德华（Edwards）EXS750/4200 是一款高性能的干式螺杆真空泵，属于Edwards的EXS系列，专为中高真空应用设计，适用于严苛的工业、半导体、光伏、科研等领域。

主要技术参数

1. 抽速（Pumping Speed）750 m³/h（在50 Hz下），满足大流量气体抽取需求。  

2. 极限真空（Ultimate Vacuum）可达 <1 × 10⁻³ mbar（绝对压力），提供洁净的高真空环境。  

3. 电机功率4200 W（4.2 kW），高效能电机驱动，适合连续运行。  

4. 转速 通常为3000 rpm（50 Hz），平衡性能与能耗。  

核心特点

1. 干式无油设计 : 无需润滑油，避免油污染，适合洁净工艺（如半导体、镀膜、光伏制造）。  

2. 耐腐蚀与颗粒耐受性 : 特殊涂层螺杆和腔体设计，可处理腐蚀性气体或微小颗粒（选配版本可能需定制）。  

3. 低维护 : 无油结构减少维护频率，仅需定期清洁螺杆和更换过滤器。  

4. 集成控制系统: 支持PLC通信（如Modbus），可实时监控压力、温度等参数。  

典型应用

半导体制造：晶圆蚀刻、CVD/PVD设备。  

光伏产业：薄膜太阳能电池生产。  

科研设备：同步辐射、电子显微镜配套。  

工业流程：真空干燥、蒸馏、包装。  

注意事项

安装环境：需确保通风良好，避免粉尘或腐蚀性气体直接进入泵体。  

维护建议：定期检查螺杆磨损和密封件状态，使用原厂配件以延长寿命。  

选型建议：若处理腐蚀性介质，需确认泵体材质（如镍磷涂层或特殊合金版本）。  

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