Edwards真空泵-爱德华EH250罗茨真空泵-广东埃地沃兹授权代理商

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Edwards真空泵-爱德华EH250罗茨真空泵-广东埃地沃兹授权代理商

爱德华真空泵EH250是一款罗茨真空泵

需要配备前级泵：不能单独使用，必须与前级泵配合工作，增加了系统的复杂性和成本。

对工作环境要求较高：环境温度、湿度等因素对其性能有一定影响，需在规定的环境条件下运行。

性能参数

抽气速率：50Hz时为310m³/h，60Hz时为375m³/h。

泵的压差：50Hz时0-180mbar，60Hz时0-150mbar。

入口连接：ISO63；出口连接：ISO40。

转速：50Hz时0-2900rpm，60Hz时0-3500rpm。

连续入口操作压力：0-1000mbar；最大出口压力：1000mbar。

电源电压：50Hz时220-240V/380-415V，60Hz时208-230V/460V。

马达功率：碳氢化合物及PFPE版本均为2.2kW/3hp，ATEX防爆型为2.2kW。

重量：69kg。

工作原理

罗茨真空泵是一种变容式真空泵，主要由泵体、前后端盖、主副转子、驱动齿轮等部件组成。在泵腔内，有两个“8”字形的转子相互啮合，转子与转子之间、转子与泵壳内壁之间保持一定间隙，且互不接触。当电机带动主转子旋转时，通过驱动齿轮使副转子按相反方向同步旋转，在旋转过程中，气体从入口进入泵腔，被转子与泵壳所形成的空间不断压缩，然后从出口排出，从而实现抽气的目的。

应用领域

半导体行业：用于半导体制造过程中的真空镀膜、蚀刻、离子注入等工艺，可提供高真空环境，确保工艺的稳定性和产品质量。

真空冶金：如真空熔炼、真空脱气等，有助于去除金属中的杂质和气体，提高金属材料的性能。

制药行业：在制药冷冻干燥过程中，能够快速建立真空环境，使药品在低温下升华干燥，保持药品的活性和质量。

化工行业：用于真空蒸馏、真空干燥等工艺，可实现物质的分离、提纯和干燥。

维护与保养

定期检查真空泵油：确保油位在正常范围内，检查油的颜色和质地，若发现油质变差或污染，应及时更换。

清洁进气口和排气口：防止灰尘、杂质等堵塞进气口和排气口，影响抽气性能。

检查轴封和密封件：查看轴封和密封件是否有磨损、老化或泄漏现象，如有问题及时更换，以保证泵的密封性。

优势

无油污染：采用先进的轴封技术，处理舱中不会出现油污染，可满足对真空环境要求较高的工艺需求。

可靠性高：配备工业级滚柱轴承，牢靠且防腐蚀，使用寿命和无故障工作时间较长。

抽速大：在相对较低的压力环境下，能提供较高的抽气速度，可有效缩短抽气时间，提高工作效率。

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