半导体行业的工艺特性，要求系统绝对无油，对设备的稳定性和可靠性要求也比较高。部分还有要求真空泵向被抽空间内的返流为零，以保护工件免受污染。工艺真空主要利用负压吸附进行工件搬运或夹持，清扫真空主要利用负压与大气压差进行液体或颗粒的清除或输送，埃地沃兹（Edwards）爱德华真空泵，安全可靠，100%无油，完全满足半导体行业的工艺真空要求。

根据客户实际项目需求，给客户选型：爱德华Edwards真空泵nxds10i，该型号设备用于科研、实验室、科学仪器中的真空泵。高性能干式真空泵，小而精悍，非常适合抽取稀有气体或关键气体，真空泵处理的气体不被意外污染。例如需要泵送或再循环氦气、六氟化硫、氙气和其他稀有或昂贵气体的应用。可提供完全清洁、干燥的真空，智能且易于控制的功能，操作简单，一款装好就忘的真空泵。

锂电池分别有铝壳电芯、圆柱电池、动力电池、软包电池，几乎所有的电池工艺都需要真空来完成。首先软包电池需要用到真空的工艺有：注液机、欲封机、抽气封口机、真空烤箱、搅拌机等。 每个设备的工艺不同，对真空度的要求不同，比如注液机是有腐蚀性的气体HF酸，抽气封口也不例外但抽真空的动作平凡，且真空度要求也高。

深圳市托理拆利机电设备有限公司是Edwards爱德华真空泵授权代理商，为客户24小时提供技术支持及售后服务。涵盖各应用领域如：锂电池注液、锂电池正负极材料输送、锂电池实验室、锂电池烤箱、电子、食品、医药、工业应用、医疗、水厂、水库、电厂、油脂脱臭、PET挤出机脱气、电池烤箱、吸塑机械、包装机械、实验室、半导体、线路板、光伏太阳能、平板显示等；我们能够为您提供高附加值的真空解决方案。技术服务：138-2378-8380

2022年3月，深圳市托理拆利机电设备有限公司根据广东某半导体用户提供的工艺情况及配置技术要求，选用了Edwards爱德华半导体真空泵IXH1210H干泵。主要表现在严苛制程能力，它在世界上的许多300mm半导体和平板工厂内通过提高制程可靠性实现低拥有成本。具有高峰值抽取速度，占地面积小，高度低，安装很方便。Edwards真空泵iXH1210H

广东某项目电池烤箱中央真空系统，根据要求做详细的解决方案，提供成套设备服务。推荐使用3台爱德华Edwards真空泵GXS450，该真空泵适合要求极其苛刻的工艺和环境下使用，并且系统的根限真空度高，稳定性好，对整个真空腔体使用环境无污染无水无油且环保。众所周知，我们edwards爱德华真空泵常应用于半导体，工业生产，实验室高真空设备，学校高真空设备和科学研发领域等。